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SJ6000激光干涉儀精密測(cè)量?jī)x器的測(cè)量軟件可以將線性測(cè)量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉儀器結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

SJ6000激光干涉測(cè)量?jī)x在數(shù)控機(jī)床精度測(cè)量方面，豐富的模塊化組件可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。是一種用傳統(tǒng)測(cè)量手段難以實(shí)現(xiàn)的技術(shù)。

中圖儀器激光干涉儀器設(shè)備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強(qiáng)，降低了對(duì)環(huán)境條件的要求，空氣湍流、熱波動(dòng)等影響甚微，因此使它不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車(chē)間條件下測(cè)量大距離用。

中圖儀器SJ6000機(jī)床校準(zhǔn)激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；也可以實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)。

中圖儀器激光平面干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)，不僅能用于實(shí)驗(yàn)室，還可在車(chē)間條件下測(cè)量大距離用。