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激光干涉儀可測(cè)量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量

更新時(shí)間:2022-05-23      點(diǎn)擊次數(shù):854
   激光干涉儀基于激光多普勒原理,采用激光外差干涉技術(shù)和光纖傳輸技術(shù),通常由控制器、光纖、干涉儀、被測(cè)鏡、上位機(jī)軟件等部件組成,它可測(cè)量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量,比如位移、振動(dòng)、速度、加速度、形變等等。
  
  其主要功能包括:
  定位精度、重復(fù)定位精度、位移距離測(cè)量、速度加速度測(cè)量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角、角速度、圓形軌跡、微振動(dòng)測(cè)量等,通過(guò)配合使用球桿儀,還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量,從而實(shí)現(xiàn)定位、校準(zhǔn)、控制和補(bǔ)償。
  
  隨著智能制造技術(shù)的不斷深入,檢測(cè)成為了生產(chǎn)過(guò)程中越來(lái)越重要的一環(huán),而位移測(cè)量是非常重要的一種檢測(cè)。通常而言,設(shè)備的檢測(cè)精度要達(dá)到加工精度的3倍以上,比方說(shuō)要加工出3μm的精度,則檢測(cè)精度至少要1μm以下,因此位移測(cè)量系統(tǒng)成為智能制造設(shè)備的關(guān)鍵部件之一。
  
  原理及特點(diǎn):
  它可測(cè)量所有可轉(zhuǎn)換為位移量的物理量,比如位移、振動(dòng)、速度、加速度、形變等等。
  1、采用交流放大器,更穩(wěn)定,抗環(huán)境干擾力更強(qiáng);
  2、采用高倍電子細(xì)分,可達(dá)納米級(jí)分辨率;
  3、采用光纖傳輸,裝調(diào)更便捷,更容易實(shí)現(xiàn)多軸同步測(cè)量;
  4、最大測(cè)量速度可達(dá)5m/s;
  5、具備網(wǎng)口、USB口及ABZ正交編碼等輸出。
  
  目前常用的位移測(cè)量系統(tǒng)有光柵、容柵、磁柵、激光干涉儀等,其中以激光干涉儀的精度最高,是微納位移測(cè)量的*。按照技術(shù)路線不同,激光干涉儀可分為單頻激光干涉儀和激光干涉儀;按結(jié)構(gòu)不同,也可分為傳統(tǒng)激光干涉儀(空間光傳輸)和光纖激光干涉儀。
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